真空・クリーン環境での潤滑剤の使用

液晶・半導体製造などで用いられる真空・クリーン環境中の潤滑では主に次の課題があります。

1. オイル・グリースなどの潤滑剤の蒸発。
   
2. 潤滑剤の蒸気や飛散微粒子、摩耗粉が製造製品の品質に悪影響を与える。

このような環境下の潤滑には、一般の潤滑剤と比較して低蒸気圧であるフッ素オイルベースのフッ素グリース、または乾性被膜である潤滑コーティング（ドライフィルム）が比較的適していますが、現実的には潤滑剤の選定のみで蒸気や微粒子、摩耗粉等の発生を完全に無くすことはできません。
使用にあたっては使用箇所の密封機構を含めて考慮することが必要です。